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激光干涉仪工作原理

发布时间:2016-07-20      点击次数:416

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、zui高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。

激光干涉仪工作原理如下:

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜然后分成两道光束一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜而第二道透射光束( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜这两道光束再反射回到分光镜重新汇聚之后返回激光器其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉( 见图1) 若光程差没有变化时探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号若光程差有变化时探测器会在每一次光程变化时在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

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