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SJ6000激光干涉仪如何测量平行度

发布时间:2021-04-06      点击次数:76

SJ6000激光干涉仪平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。

平行度测量原理

平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成,参见下面平行度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。

平行度测量配置

平行度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成。Z轴的平行度测量需增添可调转向镜。

平行度测量应用

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