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形貌仪的校准方法,学会了吗?

发布时间:2021-10-19      点击次数:270
   形貌仪其实就是三维表面形貌测量设备,采用白光共聚焦技术,可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试,具有测量精度高,速度快,重复性好的优点。该仪器包含一个手持式光学测量头和便携式电脑,在5mm×5mm范围内对x及y方向各进行高达1500次的测量,从而得出平均数值及标准偏差。同时,设备的软件还可进一步评估特定范围内材料表面的性能。该仪器拥有封闭式设计,因此其测量结果重复性和再现性高。
  产品原理是采用白光共聚焦色差技术,利用白光点光源,光线经过透镜后产生色差,不同波长的光分开后入射到被测样品上。位于白光光源的对称位置上的超灵敏探测器系统用来接收经被测点漫反射后的光。根据准共聚焦原理,探测器系统只能接收到被测物体上单点反射回来的特定波长的光,从而得到这个点距离透镜的垂直距离。再通过点扫描的方式可得到一条线上的坐标,即X-Z坐标,以S路径获得物体每个点的三维X-Y-Z坐标。将采集的三维坐标数据交给三维处理软件进行各种表面参数的分析。
  形貌仪的校准方法:
  1、三维形貌校准:这一校准都和形貌测量的“高度”结果相关,所以称为三维校准。主要包括对干涉物镜参考面形貌误差的标定;以及使用标准台阶块对台阶高度测试精度校准。
  2、二维光强校准:这一校准和成像视场范围内的“光强”信号相关。设备有一些功能,可以增强用户对样品表面观察效果。比如在某观测模式下,可以自动去除视场中黑白条纹,更清楚地观测表面纹理;真彩模式可以复现表面彩色信息。
  由于以上功能相关标定都只涉及“光强”,不涉及到形貌高度,所以称为二维光强校准。
  3、横向校准:形貌仪这一校准是为了标定在当前设置下,每个像素在横向上代表的尺寸大小。
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