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双频激光干涉仪可测量所有可转换为位移量的物理量

发布时间:2022-05-23      点击次数:71
   双频激光干涉仪基于激光多普勒原理,采用双频激光外差干涉技术和光纤传输技术,通常由控制器、光纤、干涉仪、被测镜、上位机软件等部件组成,它可测量所有可转换为位移量的物理量,比如位移、振动、速度、加速度、形变等等。
  
  其主要功能包括:
  定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量等,通过配合使用球杆仪,还能够测量数控机床的回转量,从而实现定位、校准、控制和补偿。
  
  随着智能制造技术的不断深入,检测成为了生产过程中越来越重要的一环,而位移测量是非常重要的一种检测。通常而言,设备的检测精度要达到加工精度的3倍以上,比方说要加工出3μm的精度,则检测精度至少要1μm以下,因此位移测量系统成为智能制造设备的关键部件之一。
  
  原理及特点:
  它可测量所有可转换为位移量的物理量,比如位移、振动、速度、加速度、形变等等。
  1、采用交流放大器,更稳定,抗环境干扰力更强;
  2、采用高倍电子细分,可达纳米级分辨率;
  3、采用光纤传输,装调更便捷,更容易实现多轴同步测量;
  4、最大测量速度可达5m/s;
  5、具备网口、USB口及ABZ正交编码等输出。
  
  目前常用的位移测量系统有光栅、容栅、磁栅、激光干涉仪等,其中以激光干涉仪的精度最高,是微纳位移测量的最佳选择。按照技术路线不同,激光干涉仪可分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪;按结构不同,也可分为传统激光干涉仪(空间光传输)和光纤激光干涉仪。
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