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双频激光干涉仪主要应用于数控机床的测量与校准

发布时间:2022-06-20      点击次数:189
   双频激光干涉仪是一种以光波为载体,主要应用于数控机床的测量与校准,分为静态测量和动态测量。静态测量功能可以测量线性位移、小角度、直线度、垂直度、平行度、平面度;动态测量功能可以进行位移、速度、加速度的测量与分析,以及FFT分析。其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今*的高精度、高灵敏度的几何量测量仪器。
  
  仪器采用塞曼稳频或者其他方式将单频激光分为两个振动方向互相垂直,具有一定频差的双频激光输出。其中,分一部分光作为参考光,参考光的频率差为f1-f2,另一部分光由激光头出射,同样通过偏振分光棱镜PBS,可以将两个振动方向互相垂直的线偏振光分开,一束频率为f1的光由固定角锥反射返回,另一束频率为f2的光作为测量光,由移动角锥反射,在返回时由于多普勒效应,相应的光频变化为f2±△f。
  
  双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
  
  该仪器主要应用于运动导轨的测量与校准,如数控机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台等领域;也可用于教学和科研,如引力波探测、重力加速度试验、微观检测和纳米研究等。
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