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光学3D轮廓测量仪的工作原理

发布时间:2022-09-01      点击次数:123
光学轮廓仪是用于3D形貌定量测试,和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。光学3D轮廓测量仪是精密光学测量设备,振动会对其测量精度造成扰动,所以几乎都会配有隔振平台。
3d光学轮廓测量仪可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中。
光学3D轮廓测量仪工作原理:
光学3D轮廓仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量,还原出工件3D表面形貌宏微观信息,并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理,实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。

光学3D轮廓测量仪只需操作者装好被测工件,在检定软件上设定物镜倍率和测量模式后点击“开始"按钮,光学物镜会对工件表面进行自动对焦和非接触扫描,并按设定的位置进行测量,软件界面会实时扫描物体宏微观表面形貌;扫描结束后,操作者可通过分析工具对生成的3D形貌进行分析,得到如轮廓、厚度、粗糙度、体积等多种表面形貌测量分析数据。主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量,可以达到纳米级的检测精度,并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。

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光学3D轮廓测量仪


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