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国产激光干涉仪的光路调节方法

发布时间:2022-10-20      点击次数:60
  国产激光干涉仪是以光波为载体,测量精度高,测量速度快,测量范围大,其光波长可直接定义为米,并可追溯到标准。以其良好的性能、在很多场合,特别是在大长度与大位移的测量中得到广泛应用。广泛应用于数控机床等仪器的质量控制和校准,以及科研开发、设备制造等领域。
 
  结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参数的高精度测量。在动态测量软件的配合下,可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量和性能检测,以及位移、速度、加速度、振幅和频率的动态分析。在调节光路时,请遵循以下基本流程:
 
  1、将国产激光干涉仪放置在可调底座(如有)上,通电点亮激光器,等待其预热;如预热结束,尾部的“READY”LED指示灯会显示绿色。锁定激光器位置。
 
  2、将所有导光元件初步固定在导光元件可调底座上,并安装在设计位置;沿着光路顺序,逐个调节导光元件。遇到光路分叉时,请先调节反射光路,然后调节投射光路。调节时请注意以下两点:
 
  a:出光口的光阑,选择大光斑(6mm或者9mm光斑),依次调整导光元件的横向位置,使光束从导光元件通光孔的中心入射,保证光束不会出现消光现象;
 
  b:选择小光斑(3mm光斑),依次调节各个导光元件的位置。将一平面镜(前后面平行度较高)紧贴导光元件的反射光出口处,通过调整可调底座的俯仰度和倾斜度,使反射光沿原路返回至激光器出光处。然后锁紧导光元件的位置。
 
  3、装调完所有的导光元件之后,再安装干涉仪。
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