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激光干涉仪测量机床精度之线性测量

发布时间:2022-11-02      点击次数:83

数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。

线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。


线性测量构建

进行线性测量需使用到“线性干涉镜"(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜"(角锥反射镜B)。激光从SJ6000激光干涉仪主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜"可实现运动轴的线性测量。


线性测量原理构建图


SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。


数控机床的线性测量


数控机床倾斜轴的线性测量


线性测量步骤:

1、设置激光器系统以执行线性测量;

2、使激光束与机床的运动轴准直;

3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数;

4、测量和记录机床的线性误差;

5、分析数据。


注意事项

1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。

2、使用光靶能简单准直激光束

3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有:

(1)光强太弱;

(2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程"量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程"。

4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。

5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。

6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。

7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。


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