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共聚焦显微镜各部分名称和功能

更新时间:2023-02-15      点击次数:510

以共聚焦技术为原理,用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的VT6000共聚焦显微镜,可对材料样品的表面形貌直接进行成像,横向分辨率可达1nm,Z轴分辨率可达0.5nm。不仅可对样品表面形貌进行测量,提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能,还提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。


其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。


VT6000共聚焦显微镜的构造组成主要包括:显微镜、激光光源、扫描装置、检测器、计算机系统(包括数据采集,处理,转换,应用软件)、图像输出设备、光学装置和共聚焦系统。


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功能

在陶瓷、金属、半导体、芯片等材料科学及生产检测领域中,共聚焦显微镜有着广泛的应用。以共聚焦显微技术为原理的共聚焦显微镜,对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,从而获取反映器件表面质量的2D、3D参数,实现器件表面形貌3D测量。



可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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