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为什么激光共聚焦显微镜成像质量更好?

更新时间:2023-08-22      点击次数:428

激光共聚焦显微镜原理是由LED光源发出的光束经过一个多孔盘和物镜后,聚焦到样品表面。之后光束经样品表面反射回测量系统。再次通过MPD上的针孔时,反射光将只保留聚焦的光点。最后,光束经分光片反射后在相机上成像。

为什么激光共聚焦显微镜成像质量更好?

1、激光共聚焦显微镜采用了激光扫描技术。与传统显微镜的广谱光源相比,激光扫描技术能够精确定位和聚焦在样品的特定区域,从而提高成像的分辨率和准确性。同时,激光扫描技术可以消除样品中的散射和背景信号,从而提高成像的对比度。同时,激光的单色性使得成像更清晰。


2、激光共聚焦显微镜具有较大的光学孔径(显微镜接收到样品发出的光的能力)和高数值孔径物镜(镜头的放大倍数),使成像更清晰细致。


3、激光共聚焦显微镜使用的是探测元件是高灵敏度的光电倍增管,对微弱的荧光信号可以呈现出很高的灵敏度,并且还可以通过缩小激发范围并使用光学切片来消除背景噪声。配备高灵敏度的光电二极管探测器,使得激光共聚焦显微镜能够快速并精确地检测光信号,并将其转换为电信号。

与传统的光学观察不同,光电二极管探测器可以实现单个光子的检测,使得成像更加敏感和准确。这种高灵敏度的探测器在低光强条件下也能够获得清晰的图像。


VT6000激光共聚焦显微镜基于针孔点光源的共轭共焦原理,具有纳米级别的纵向分辨能力,配合高速扫描模块,专业的分析软件具有多区域、自动测量功能,能实现快速自动化测量,并提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征。

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VT6000激光共聚焦显微镜依托弱光信号解析算法可以完整重建出近70°陡峭的复杂的结构形状。如:

1.对太阳能电池片微观结构进行三维形貌重建:

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2.快速重建出被测晶圆激光镭射槽的三维轮廓并进行多剖面分析,获取截面的槽道深度与宽度信息:

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3.对光学膜表面微结构实现快速自动化测量,提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征:

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