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台阶仪工业测量仪器:揭秘多领域应用

更新时间:2023-11-02      点击次数:395

台阶仪是一种常见的工业测量仪器,广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。

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工作原理

当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。


CP200台阶仪采用线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃,具有良好的测量精度及重复性。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等,没有特别的要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用广泛的微纳样品测量手段。


典型应用

1、半导体应用

(1)沉积薄膜的台阶高度

(2)抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度

(3)蚀刻速率测定

(4)化学机械抛光(腐蚀、凹陷、弯曲)

2、大型基板应用

(1)印刷电路板(突起、台阶高度)

(2)窗口涂层

(3)晶片掩模

(4)晶片卡盘涂料

(5)抛光板

3、玻璃基板及显示器应用

(1)AMOLED

(2)液晶屏研发的台阶步级高度测量

(3)触控面板薄膜厚度测量

(4)太阳能涂层薄膜测量

4、柔性电子器件薄膜应用

(1)有机光电探测器

(2)印于薄膜和玻璃上的有机薄膜

(3)触摸屏铜迹线

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