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台阶仪:亚埃级垂直分辨率,新材料纳米加工的测量利器!

更新时间:2024-02-20      点击次数:289

台阶仪亚埃级垂直分辨率能够实现纳米级别的测量和分析,仪器具备出色的精确性和稳定性。在纳米加工领域,台阶仪不仅能准确评估材料的表面形貌和结构,同时也为纳米加工过程的控制和优化提供了可靠的依据。利用台阶仪实时观测材料表面的微观变化,并对其进行全面的分析和表征,这对于了解材料的晶体结构和电子性质等方面至关重要。


CP系列台阶仪线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。具有出色的重复性和再现性,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

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测量功能

(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度

(2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;

(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲,如在半导体晶圆制造过程中,因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化,或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。

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台阶仪的应用,不仅能帮助科研人员解决纳米材料表面形貌难题,还为纳米加工提供了重要参考。此外,台阶仪还具有适用范围广的优点。它对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。

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台阶仪具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点,它的应用不仅能够提高纳米加工的效率和质量,同时也为材料工程领域的研究提供了新的视角。

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