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机床激光干涉仪的性能特点,一看便知

发布时间:2021-04-15      点击次数:31
   机床激光干涉仪遵循多普勒效应,任何形式的波传播,都是由于波源、接收器、传播介质或中间反射器的运动,会使频率发生变化的现象。这种因多普勒效应所引起的频率变化称为多普勒偏移或频移,其频移大小与介质、波源和观察物的运动有关。
  XL激光头射出的频率为f0,经过反射镜反射回来到激光头内的探测器,当反射镜不动时,其反射波频率fr=f0。当反射镜以v=dx/dt的速度沿线性轴远离或者靠近激光头时,因为光程增加或减少了2vt,反射波fr的数值会减少或增加2v/λ0,λ0为激光波长。
  机床激光干涉仪的性能特点都有哪些呢?
  1、激光稳频精度通过热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内,达到3年内精度保持在±0.05ppm(百万分之一)。
  2、线性测量精度在整个环境范围内,即从0℃-40℃(32F-104F)和650毫巴-1150毫巴的范围内,精度为±0.5ppm。可以高达50kHZ频率读取数据,高线性测量速度可达4m/s,即使在高速度下线性分辨率仍可达1nm。
  3、仪器内置的USB意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。
  4、激光头前部的一排LED状态指示灯显示激光状态和信号强度,相当于将屏幕软件上的“状态显示”扩展到激光头上。
  5、可以在标准(40m)和长(80m)距离模式之间切换。
  6、模拟I/O端口允许模拟信号输出和触发信号输入。
  7、预热时间少于6分钟;外接开关电源允许输入电压在90V-264V之间变化。
  8、六种测量维度,机床激光干涉仪系统不仅可以进行线性、角度、直线度、回转轴、平面度以及垂直度的测量,还可用于机器振动、频谱分析、运动速度及角速度测量分析等动态场合。它广泛应用在数控机床及坐标测量机精度检测、计量器具(包括部分光学仪器)的溯源检定及其他大范围、高精度、高速动态测量等工业领域。
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