三维表面轮廓仪根据光波的干涉原理，仪器本身产生的可见光通过单色滤光片滤掉杂散光，变成了单一相位的光波，此光波通过扫描器扫描到被测量的光学材料上，与光学材料本身产生的光波发生了光波干涉，从而产生干涉条纹，两个光波的波面间也产生连续的相位变化；
干涉标准镜和图像采集器将获取的干涉波的干涉条纹信号捕捉到后输入计算机，经用软件将获取的数据进行处理和拟合，在计算机显示器上获得了模拟的图形，达到了光学材料的测量（弯度、平面、三维图像）其精度可达3.5纳米量级，扫描范围扩展到纵向20mm，且具有较高的自动化程度和目镜可以更换的人性化设计。
三维表面轮廓仪的性能特点都有哪些呢？
1、大面积传感器：高灵敏度，在单次测量中获取更多的信息；
2、高速测量：只需几秒时间，优化的测试能力和程序控制；
3、自动零件聚焦和定位：减少操作员测试差异，提高培训和测试效率；
4、重复性特征：优异的测量精度和可重复性，为高要求的生产应用提供服务；
5、抗震计量：采用*的抗震技术，在震动环境下也可实现高质量的计量；
三维表面轮廓仪的测量与分析同界面操作,无须切换，测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能；可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；它结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程。
本产品采用几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；一键分析、多文件分析，自由组台分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能。
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