中图仪器3d视觉轮廓仪测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
中图仪器3d轮廓扫描仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。
中图仪器3d光学轮廓仪高精度测量仪在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperVirewW1光学3d表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
SJ5730-100国产轮廓测量仪器具有12mm~14mm以上的大量程粗糙度测量范围,分辨率达到1nm或更高,可以一次测量同时评定轮廓和粗糙度参数。仪器配置了特殊分离式操作杆,操作杆在仪器操作移动时,可放置在任何位置控制操作,在测量工件前对测针进行粗定位;在脱离电脑的情况下,操作杆具备左右/上下移动测针、急停、测杆上下角度摆动及速度分多级调节功能。
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