光学三维表面轮廓仪

微观粗糙度检测精度不足？粗糙度与轮廓度需分机测量？批量检测效率低？中图仪器光学三维表面轮廓仪（SuperViewW系列）粗糙度RMS重复性低至0.005nm，形貌重复性达0.1nm，台阶测量准确度仅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余种国内外标准。

SuperViewW光学三维表面轮廓仪基于白光干涉技术与复合型EPSI重建算法，搭配全场景适配、自动化高效操作，连续10次测量Sa=0.2nm硅晶片，数据偏差＜0.001nm，为工艺优化、产品质检提供可信的量化依据，某半导体企业应用后，因测量误差导致的返工率降低15%。

一、解决哪些行业痛点？

二、有哪些产品优势？

1.高重复精度，数据可靠可追溯

粗糙度RMS重复性低至0.005nm，形貌重复性达0.1nm，台阶测量准确度仅0.3%，符合ISO 25178、ISO 10610等300余种国内外标准。基于白光干涉技术与复合型EPSI重建算法，连续10次测量Sa=0.2nm硅晶片，数据偏差＜0.001nm，为工艺优化、产品质检提供可信的量化依据，某半导体企业应用后，因测量误差导致的返工率降低15%。

2.高速扫描+自动化，提高效率降低成本

W1-Ultra型号在0.1nm分辨率下扫描速度高达8μm/s，是传统设备的4倍以上；支持单/多区域一键测量、阵列式批量检测，搭配编程预设流程，实现无人值守自动化操作。

3.全场景适配，无需频繁换设备

单一扫描模式覆盖超光滑到粗糙、镜面到全透明/黑色材质，10mm Z向扫描范围搭配方形、圆形、螺旋式自动拼接功能，支持数千张图像无缝拼接。无论是半导体研磨减薄件、3C金属壳模具，还是光学纳米台阶元件，均可精准测量，满足多品类生产企业一台设备搞定全场景的需求。

4.稳定防护双保障，降低运维成本

气浮式隔振底座隔绝地面振动干扰，0.1nm分辨率环境噪声评价功能实时监控干扰源；双重镜头防撞保护（软件ZSTOP+弹簧回缩结构）+光源无人值守自动熄灯设计，设备年损耗率降低至2%以下，光源使用寿命延长3年。

5.自研软件平台

Xtremevision Pro支持多机型自动识别，白光干涉与共聚焦模式自由切换，可直接测量微观轮廓的距离、角度等参数。

三、应用场景

1.半导体制造：适配硅晶片研磨减薄后的粗糙度检测、光刻槽道轮廓测量，助力头部企业工艺良率提升8%，检测数据通过国际标准认证，满足供应链合规要求。

2.3C电子：精准测量手机玻璃屏粗糙度、金属壳模具瑕疵、油墨屏高度差，批量检测报表支持Word/Excel/PDF格式自动导出，适配供应链质检存档需求。

3.光学加工：量化纳米台阶高度、光学元件表面轮廓，916.5nm台阶测量重复性达0.08%，帮助企业产品合格率从92%提升至99.2%。

4.汽车零部件：检测精密轴承孔隙间隙、齿轮表面磨损轮廓，在复杂车间环境中保持数据稳定，某车企质检周期缩短50%。

四、定制化服务

可根据行业需求定制测量模板、分析参数，提供免费样品测试与行业专属解决方案设计。

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注：产品参数与配置以实际交付为准，厂家保留根据技术升级调整相关内容的权利，恕不另行通知。