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W1光学轮廓仪

简要描述:W1光学轮廓仪是通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-09
  • 访  问  量:189

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器W1光学轮廓仪可以达到纳米级的检测精度,并快速获得被测工件表面三维形貌和数据,是用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。

 

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参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100%

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

 

W1光学轮廓仪产品功能

1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;

2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;

3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;

4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;

5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;

6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

7)具备word、excel等数据报表导出功能。

 

 

中图仪器W1光学轮廓测量仪是通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌,分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

 

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