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光学3d轮廓仪设备

简要描述:中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台(XY)局部位移精度和线性精度为亚微米,Z向运动精度可达数纳米,线性精度可达亚纳米级别。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-13
  • 访  问  量:20

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台(XY)局部位移精度和线性精度为亚微米,Z向运动精度可达数纳米,线性精度可达亚纳米级别。采用CCD取代了显微镜中的目镜,因而可直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。


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SuperViewW1光学3d轮廓仪设备的精密核心部件均外购,核心器件价格昂贵,包括扫描电机和镜头,另外如此高精度仪器,在机械零部件的加工要求上均有高要求,同时对系统控制、软件上都有非常高的要求。


测量软件和分析软件整合为一体,基于windows操作系统的用户界面,强大而快速的运算能力。一体化操作软件,测量与分析同界面操作,预先配置好分析参数,软件自动统计测量数据,实现快速批量测量。


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安装和使用环境要求

理想使用环境:无强磁场,无振动,无腐蚀气体

工作温度:15℃ ~30℃,温度梯度 < 1℃/15分钟

相对湿度:40-60%,无凝结

如现场环境不理想,需要对实际使用环境进行评估,其中环境噪声(地面振动、声波噪声)不能过大。


技术规格

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


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