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高精密光学轮廓测量仪

简要描述:SuperViewW系列高精密光学轮廓测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-05
  • 访  问  量:114

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW系列高精密光学轮廓测量仪又叫白光干涉仪,它是以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域的非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。


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性能特色

1、高精度、高重复性

1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

2)隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;

2、一体化操作的测量分析软件

1)测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

2)可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

3)结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;

4)几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

5)一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

6)可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。


SuperViewW系列高精密光学轮廓测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。


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