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光学表面轮廓仪中图仪器

简要描述:SuperViewW1光学表面轮廓仪中图仪器可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-08
  • 访  问  量:90

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1光学表面轮廓仪中图仪器由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。与台阶仪相比具有以下优点:

一是非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;

二是测量速度快,不必像探头逐点进行测量;

三是不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;

四是对高深宽比的沟槽结构,可以快速而精确的得到理想的测量结果。


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SuperViewW1光学表面轮廓仪中图仪器的重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。载物台尺寸为320*200mm(可定制),行程为140*110mm(可定制);测量的Z向范围可达10mm(2.5X镜头),Z向的精度可高达0.1nm。



产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

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可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

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