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轮廓度光学测量仪

简要描述:SuperViewW1轮廓度光学测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。针对芯片封装测试流程的测量需求,SuperViewW1非接触式光学轮廓测量仪的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-11-07
  • 访  问  量:67

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1轮廓度光学测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高,测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能。其重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。


产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


SuperViewW1光学3D表面轮廓仪,白光干涉仪.jpg


SuperViewW1轮廓度光学测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。针对芯片封装测试流程的测量需求,SuperViewW1非接触式光学轮廓测量仪的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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