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三维光学轮廓仪

简要描述:SuperViewW1三维光学轮廓仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-11-22
  • 访  问  量:124

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1三维光学轮廓仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,具有高精度、高重复性特点。一体化操作的测量分析软件,以及集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。


SuperViewW1光学3D表面轮廓仪,国产白光干涉仪品牌.jpg


仪器分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


轮廓分析步骤

1.将样品放置在载物台镜头下方;

2.检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;

3.使用操纵杆调节Z轴,找到样品表面干涉条纹;

4.微调XY轴,找到待测区域,并重新找到干涉条纹;

5.完成扫描设置和命名等操作;

6.点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);

7.台阶样品分析第一步:校平;

8.进入数据处理界面,点击“校平"图标,和平面样品不同,台阶样品需手动选取基准区域,选好基准区域后,先“全部排除"再“包括";

9.若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致,可多选择几个区域作为基准面进行校平;

10.台阶高度测量:线台阶高度测量

11.进入分析工具界面,点击“台阶高度"图标,即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据;

12.在右侧点击“手动检测",根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域,数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值;

13.台阶高度测量:线台阶高度测量

14.进入数据处理界面,点击“提取剖面"图标,使用合适方向的剖面线,提取目标位置的剖面轮廓曲线;

15.进入分析工具界面,点击“台阶高度"图标,由于所测为中间凹槽到两侧平面高度,因此点击右侧工具栏,测量条对数选择“2",将红色基准线对放置到凹槽平面中间,两对测量线对分别放置在两侧平面,即可在数据缆读取台阶高度数据。


SuperViewW1光学3D表面轮廓仪,国产白光干涉仪品牌.jpg


SuperViewW1三维光学轮廓仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。

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