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光学轮廓仪白光干涉仪

简要描述:SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-12-13
  • 访  问  量:98

详细介绍

品牌中图仪器适用行业其他
产地国产加工定制

SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。仪器具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。


结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。


性能特点

1、3D测量

采用白光干涉技术,结合具有抗噪性能的3D重建算法,真实还原样品的每一个细节,随意翻转缩放,轻松观察、测量样品的任意特征。

2、功能全

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D测量功能全部囊括,距离、角度、直径测量等2D轮廓分析功能覆盖,有依据ISO|ASME|EUR|GBT四大国内外标准的300余种特征参数

3、操作便捷

直观的操作界面,操作流程一目了然,自动聚焦,一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的分析功能,有一键分析功能,批量测量不用愁。

4、高重复精度

采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性。



W1系列光学轮廓仪白光干涉仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型,另可针对不同的客户需求,在两种型号间选取不同配置进行组合,让仪器切合客户需求,贴心省力。


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