咨询电话:18928463988
Products产品中心
首页 > 产品中心 > 轮廓测量仪 > 光学3D轮廓仪 > SuperViewW1光学三维3D表面轮廓测量仪

光学三维3D表面轮廓测量仪

简要描述:SuperViewW1光学三维3D表面轮廓测量仪在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。其重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-01-30
  • 访  问  量:582

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1光学三维3D表面轮廓测量仪在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,能达到其它仪器达不到检测的精度要求。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。


三维光学轮廓测量仪,3D光学轮廓检测仪器.jpg


结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。



与台阶仪相比具有以下优点:

一是非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;

二是测量速度快,不必像探头逐点进行测量;

三是不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;

四是对高深宽比的沟槽结构,可以快速而精确的得到理想的测量结果。


SuperViewW1光学三维3D表面轮廓测量仪的重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。其双通道气浮隔振系统设计,既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气,在无外接气源的条件下也可稳定工作,可以有效隔绝地面传导的振动,同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动,确保仪器在车间也能正常工作。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
深圳市中图仪器股份有限公司
  • 联系人:罗健
  • 地址:深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园
  • 邮箱:sales@chotest.com
  • 传真:86-755-83312849
关注我们

欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息

扫一扫
关注我们
版权所有 © 2024 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml
管理登陆    技术支持:仪表网