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三维光学表面轮廓仪

简要描述:SuperViewW1三维光学表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-05-06
  • 访  问  量:68

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1三维光学表面轮廓仪以白光干涉技术为原理,是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。


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技术指标

型号

W1

光源白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)


XY位移平台

尺寸
320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
形貌重复性0.1nm
粗糙度RMS重复性0.005nm
台阶测量

准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)

可测样品反射率0.05%~100%
主机尺寸700×606×920㎜


产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

大尺寸样品_拼接测量.jpg

大尺寸样品_拼接测量

超精密加工.jpg

超精密加工


应用领域

SuperViewW1三维光学表面轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。



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