咨询电话:18928463988
Products产品中心
首页 > 产品中心 > 轮廓测量仪 > 光学3D轮廓仪 > SuperViewW13D表面光学轮廓仪

3D表面光学轮廓仪

简要描述:中图仪器SuperViewW系列3D表面光学轮廓仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-07-10
  • 访  问  量:295

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器SuperViewW系列3D表面光学轮廓仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

531.jpg

产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用.jpg


SuperViewW系列3D表面光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量,可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,xy载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件。


技术指标


型号

W1

光源白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)


XY位移平台

尺寸
320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
形貌重复性0.1nm
粗糙度RMS重复性0.005nm
台阶测量

准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)

可测样品反射率0.05%~100%
主机尺寸700×606×920㎜


性能特色

1、高精度、高重复性

1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;

2、环境噪声检测功能

具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块,能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。

5、双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。

tu1.jpg


SuperViewW光学轮廓仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
深圳市中图仪器股份有限公司
  • 联系人:罗健
  • 地址:深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园
  • 邮箱:sales@chotest.com
  • 传真:86-755-83312849
关注我们

欢迎您关注我们的微信公众号了解更多信息

扫一扫
关注我们
版权所有 © 2024 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml
管理登陆    技术支持:仪表网