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光学材料表面形貌测试仪

简要描述:SuperViewW1光学材料表面形貌测试仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-09-08
  • 访  问  量:364

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1光学材料表面形貌测试仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

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SuperViewW1光学材料表面形貌测试仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。

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产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

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SuperViewW1光学轮廓仪可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,局部位移精度可达亚微米级别,Z向扫描电机可扫描10mm范围,可测非常微小尺寸的器件;测量大尺寸样品时,支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。


部分技术指标


型号

W1

光源白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)


XY位移平台

尺寸
320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
台阶测量
可测样品反射率0.05%~100%
主机尺寸700×606×920㎜


如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。


应用

在3C领域,可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

在LED行业,可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;

在光纤通信行业,可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

在集成电路行业,可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行业,可以测量台阶高度和表面粗糙度;

在军事领域,可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

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