中图仪器白光干涉3D表面轮廓仪

SuperViewW中图仪器白光干涉3D表面轮廓仪兼具多场景适配性、高精度测量、智能化操作三大优势，能一站式解决超光滑/粗糙材质、纳米/微米级精度、批量检测效率低等测量难题。

一、产品核心功能

1. 测量能力：覆盖全类型样件表面，无需切换测量模式，适配从精密器件到批量工件的多样化检测场景。

2. 自动化体验：操纵杆便捷操控所有轴位，支持阵列式多区域测量、Mark点自动定位校正，批量样品切换测量点位无需重复调试。

3. 数据处理与导出：内置去噪、滤波等四大数据处理模块，粗糙度、几何轮廓等五大分析功能，支持Word/Excel/PDF格式报表导出，满足质检存档与数据分析需求。

4. 稳定与安全保障：气浮隔振底座隔绝振动干扰，0.1nm分辨率环境噪声评价功能确保数据精准；双重镜头防撞保护、光源自动熄灯设计，降低设备损耗与操作风险。

二、产品核心亮点

1. 全场景覆盖：单一扫描模式适配超光滑到粗糙、镜面到全透明/黑色材质，从纳米到微米级工件的粗糙度、平整度、微观轮廓等参数均可精准测量，无需更换设备即可满足多类产品检测需求。

2. 高精度+大范围双突破：复合型EPSI重建算法解决传统技术瓶颈，自动拼接功能支持方形、圆形等多种模式，数千张图像无缝拼接，超光滑凹面弧形扫描也能实现无重叠缝隙重建。

3. 高效自动化降本增效：一键完成单/多区域自动测量、批量分析，编程测量功能可预设流程实现一键操作，单个精细器件测量用时短，大幅提升检测 throughput。

4.自研软件平台：Xtremevision Pro第二代3D测量软件平台适配多机型，拓展性更强。集成图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量四大模块，适配中图W/VT/WT系列所有3D仪器机型。支持白光干涉与共聚焦显微镜自动切换，可直接测量微观平面轮廓的距离、角度、半径等参数，搭配灵活自动拼接功能，自定义测量区域无限制。

三、应用领域

中图仪器白光干涉3D表面轮廓仪广泛应用于精密制造、电子半导体、汽车零部件、新材料、医疗器械等领域，对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

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