材料共聚焦显微镜系统

中图仪器VT6000材料共聚焦显微镜系统主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，如材料表面的粗糙度、微观形貌、几何轮廓等参数的测量，具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。广泛用于半导体制造、3C电子、航空航天等超精密加工领域中。

一、产品功能

1、3D+2D全维度测量：同步实现微观3D形貌表征与二维平面尺寸（长度、角度、半径等）测量，一份设备满足多维度检测需求。

2、大区域高效检测：自动拼接功能覆盖广范围测量场景，无需手动拆分，避免数据断层，提升检测完整性。

3、智能化数据处理：调整、纠正、滤波、提取四大模块+五大分析工具（粗糙度/几何轮廓/结构等），数据处理一步到位，支持自定义模板批量分析。

4、便捷化操作体验：集成X/Y/Z三轴操纵杆，可快速完成平移、聚焦，支持速度调节与光源亮度控制，新手也能快速上手。

5、安全防护升级：镜头弹簧结构+压力传感器，碰撞后自动急停；无人值守时光源智能熄灭，兼顾设备保护与节能。

二、可测材料

针对国内工业材料的多样性与复杂性，VT6000共聚焦显微镜进行了深度场景化优化。无论是光滑/粗糙表面、低/高反射率材质，还是半导体晶圆、3C玻璃屏、汽车精密配件、微纳复合材料等不同类型工业材料，均可实现精准测量，涵盖粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率、体积等核心参数。更提供多型号选择，从100×100mm到300×300mm的XY轴行程，搭配真空吸盘、电动位移台等配置，适配从小型精密器件到大型工业部件的全尺寸测量需求，无需依赖进口设备的定制化改造。

三、定制化解决方案

不同工业企业的测量场景与需求存在差异，国产共聚焦显微镜支持灵活定制服务：可根据企业需求选配5×、20×、100×（APO）等不同规格物镜，加装彩色影像系统、计量机构校准证书等配件；软件支持自定义分析模板，适配批量样品检测、多区域同步测量等个性化场景；针对特殊工业材料（如高反射率金属、低对比度薄膜），可提供专属测量方案优化，让设备贴合企业生产与研发流程。

四、应用案例

1.半导体制造：检测晶圆微观形貌，粗糙度测量重复性≤12nm，助力提升芯片封装良率，已服务多家头部半导体企业。

2.3C电子玻璃屏：通过自动拼接功能实现200×200mm玻璃屏全域检测，平面度测量精度达0.1nm，检测效率提升40%。

3.汽车零部件：针对精密齿轮、传感器等部件，完成微观几何轮廓与粗糙度检测，数据符合国际标准，保障零部件装配精度。

4.科研院所：为微纳材料、MEMS器件研发提供精准测量数据，支持结构分析、频率分析等深度研究需求。

注：产品参数与配置可能因技术升级调整，具体以实际沟通为准。

VT6000材料共聚焦显微镜系统已广泛应用于超精密加工、航空航天、科研院所等领域。如需获取对应行业的详细应用案例、型号参数对比表或专属报价，欢迎联系中图仪器。也可直接私信留言，为你提供一对一解决方案！