SuperViewW1光学3d表面轮廓仪器主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓，主要用于超精密加工行业。

SuperView W1三维光学成像轮廓仪测粗糙度对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面粗糙度形貌的3D测量。

SuperViewW1非接触式三维光学轮廓仪器可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件。

中图仪器SuperViewW1非接触式光学轮廓仪器以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

中图仪器3d光学检测轮廓仪可测量程范围内的三维尺寸，不过主要还是用于检测样品表面的粗糙度、台阶高、微观几何轮廓等参数。

中图仪器SuperViewW1光学3d轮廓仪设备载物台（XY）局部位移精度和线性精度为亚微米，Z向运动精度可达数纳米，线性精度可达亚纳米级别。