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SuperViewW1粗糙度轮廓光学测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW1三维光学轮廓形貌仪是一款既可以用于科学研究,也可以用于工业产品的光学检测仪器。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
SuperViewW1光学轮廓测量仪在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤。其双通道气浮隔振系统,既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。
中图仪器3d光学轮廓仪高精度测量仪在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperVirewW1光学3d表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
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