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双频激光干涉仪测量前的调整方法

发布时间:2021-12-13      点击次数:202
   双频激光干涉仪是一种高精度、高测量范围的测长仪,由于其优良的性能,被广泛地应用于多种场合,特别是对长、大位移的测量。对于长度的测量,一般200米以上的测量都是一般的长度测量,3m以下的长度测量是3m,3~200m的测量称为大尺寸测量。在一般长度测量中,被广泛使用。可在室内进行恒温、恒湿、防震的量块、标尺、标尺、坐标测量仪等。还可在普通车间对大型机床进行标定,既能测量几十米长,又能测量手表零件等微小运动,不仅能测量长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等几何尺寸。是科学研究、光刻机、数控机床、舰船等行业都离不开的光学尺子,用于测量零部件的尺寸,角度,位置,直线性,也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度,进行误差补偿的基本仪器。
  随着智能制造技术的发展,检测已经成为生产过程中越来越重要的一部分,位移检测是检测手段之一。一般来说,设备的检测精度应达到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工,其检测精度至少应小于1微米,因此双频激光干涉仪已经成为智能制造设备的关键部件之一。
  但是,由于双频激光测量系统测量时与一般的自准直仪不同,下面就来具体介绍下调整方法:
  1.调光束平行于被测轨道。
  (1)将反射镜座和分光镜座放置在被测轨道上,分光镜的高度放置在可调节范围的中间,调整高度,雷射头与反射镜、分光镜大致保持在同一高度。
  (2)激光头的左右摆动是根据反射镜上光点在Y方向的偏移来调节的。在Y方向的镜面上,光点不会偏移。
  2.调节镜子和反射镜的镜面垂直于激光束。
  (1)调整反射镜的高度,使激光头上孔发出的光束反射后全部返回雷射头(孔内指示灯亮);
  (2)放置分光镜,覆盖反射镜,调整分光镜的高度,使激光头上孔发出的光束通过分光镜后全部返回(指示灯亮);
  以上就是小编为大家介绍的双频激光干涉仪的相关内容,希望对大家能有所帮助。
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