激光干涉仪测量前的调整方法

更新时间：2021-12-13 点击次数：629

　　激光干涉仪是一种高精度、高测量范围的测长仪，由于其优良的性能，被广泛地应用于多种场合，特别是对长、大位移的测量。对于长度的测量，一般200米以上的测量都是一般的长度测量，3m以下的长度测量是3m,3~200m的测量称为大尺寸测量。在一般长度测量中，被广泛使用。可在室内进行恒温、恒湿、防震的量块、标尺、标尺、坐标测量仪等。还可在普通车间对大型机床进行标定，既能测量几十米长，又能测量手表零件等微小运动，不仅能测量长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等几何尺寸。是科学研究、光刻机、数控机床、舰船等行业都离不开的光学尺子，用于测量零部件的尺寸，角度，位置，直线性，也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度，进行误差补偿的基本仪器。

　　随着智能制造技术的发展，检测已经成为生产过程中越来越重要的一部分，位移检测是检测手段之一。一般来说，设备的检测精度应达到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工，其检测精度至少应小于1微米，因此激光干涉仪已经成为智能制造设备的关键部件之一。

　　但是，由于激光测量系统测量时与一般的自准直仪不同，下面就来具体介绍下调整方法：

　　1.调光束平行于被测轨道。

　　(1)将反射镜座和分光镜座放置在被测轨道上，分光镜的高度放置在可调节范围的中间，调整高度，雷射头与反射镜、分光镜大致保持在同一高度。

　　(2)激光头的左右摆动是根据反射镜上光点在Y方向的偏移来调节的。在Y方向的镜面上，光点不会偏移。

　　2.调节镜子和反射镜的镜面垂直于激光束。

　　(1)调整反射镜的高度，使激光头上孔发出的光束反射后全部返回雷射头(孔内指示灯亮)；

　　(2)放置分光镜，覆盖反射镜，调整分光镜的高度，使激光头上孔发出的光束通过分光镜后全部返回(指示灯亮)；

　　以上就是小编为大家介绍的激光干涉仪的相关内容，希望对大家能有所帮助。