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中图仪器双频激光干涉仪

简要描述:中图仪器双频激光干涉仪采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-03-29
  • 访  问  量:1238

详细介绍

产地国产加工定制

一.中图仪器双频激光干涉仪显著特点

1.测量精度高、速度快,稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。

③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。

 

二.中图仪器双频激光干涉仪功能

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、zui高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,而且及时处理数据,为机床误差修正提供依据。

 

三.执行标准

ISO230-2

老版标准

ISO230-1997

新版标准

ANSI B5.54

美国国家标准

ASME B89.1.12M

美国机械工程师协会标准

NMTBA

美国机床协会标准

BS 3800 

英国机床标准

BS 4656

英国三测机标准

JIS B6330 

日本国家标准

GB 17421-2000

中国国家标准

VDI 3441

德国机床标准

 

四.中图激光干涉仪技术参数

  •  
  • 测量方式:单频
  • 稳频精度:0.05ppm
  • 动态采集频率:50 kHz
  • 预热时间:5-10分钟
  • 工作温度范围:0~40
  • 环境温度范围:0~40
  • 存储温度范围:-20~70
  •  
  • 空气温度传感器:±0.2 (0-40),分辨率0.01
  • 材料温度传感器:±0.1 (0-40),分辨率0.01
  • 空气湿度传感器:±6% (0-95%)
  • 大气压力传感器:±1mBar (650-1150mbar)
  •  
  • 测量距离:0-40m
  • 测量精度:0.5ppm (0-40)
  • 测量分辨率:1nm
  • 测量zui大速度:4m/sec

 

 

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  • 地址:深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园
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