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SJ6000国产激光干涉仪产品采用进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量
中图仪器激光干涉仪采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量。
SJ6000机床激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术,实现各种参数的高精度测量
GTS系列机器人位姿准确度激光跟踪测量仪是同时具高精度(μm级)、大工作空间(百米级)的高性能光电测量仪器。可以和多种形式的合作目标测头配合使用,能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题。
PLR3000非接触高精度测量光纤激光尺用于对精度要求苛刻、环境复杂的场景。比传统光栅精度高10倍,分辨率达原子层级(10nm=100个原子直径!) PLR3000 系列光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证:用差分干涉(DI)探头对高精度纳米位移台进行闭环控制,在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。
中图仪器GTS系列0.5μm干涉测距精度激光跟踪仪可以和多种形式的合作目标测头配合使用,能够解决大型、超大型工件和大型科学装置、工业母机等全域高精度空间坐标和空间姿态的测量问题,广泛应用在飞机、汽车、船舶、航天、机器人、核电、轨道交通装备制造行业以及大型科学工程、工业母机的高精密加工和装配中。
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