PLR3000系列0.2ppm高精度光纤激光尺是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，10nm分辨率+0.2ppm线性精度，满足纳米级测量需求，是特别为超高精度位置反馈应用而设计，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

PLR3000系列系统级精度激光尺以激光干涉核心技术+硬核数据支撑，分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域广泛应用。

PLR3000多轴测量光纤激光尺基于激光干涉测量原理，分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域，提供精准、可靠的位置反馈与控制。

PLR3000非接触高精度测量光纤激光尺用于对精度要求苛刻、环境复杂的场景。比传统光栅精度高10倍，分辨率达原子层级（10nm=100个原子直径！） PLR3000 系列光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证：用差分干涉（DI）探头对高精度纳米位移台进行闭环控制，在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。

PLR3000纳米级精度激光尺测量仪是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。

中图仪器PLR3000高精准度激光尺品牌0.02ppm稳频精度光纤激光尺突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量，分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。