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PLR3000闭环位置反馈控制光纤激光尺可作为激光干涉仪进行测量,也可用于闭环位置反馈控制。10nm高分辨率(支持外部拓展),正交数字/1Vpp正余弦信号双输出,适配各类控制器。
激光编码器,又称光纤激光尺、激光干涉尺,它是利用激光干涉的原理对位移进行高精度测量输出,完成实时控制的闭环应用。
PLR3000高精度激光尺(光纤激光尺)纳米级精度与灵活适配性的特点,让大尺寸、长行程精密测量一次测量完成。解决航空航天、半导体制造、大型精密加工等B端场景中,“测量量程不足被迫分段检测”“长行程测量误差累积”“产能扩张后设备无法适配新需求”的问题。
PLR3000系列0.2ppm高精度光纤激光尺是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备,10nm分辨率+0.2ppm线性精度,满足纳米级测量需求,是特别为超高精度位置反馈应用而设计,在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
PLR3000系列系统级精度激光尺以激光干涉核心技术+硬核数据支撑,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域广泛应用。
PLR3000多轴测量光纤激光尺基于激光干涉测量原理,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域,提供精准、可靠的位置反馈与控制。
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