PLR3000非接触高精度激光干涉尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,具有安装快捷,易于准直等特点。可根据用户需求,配置单轴、双轴以及三轴输出,轻松实现多轴测量或多自由度测量。
PLR3000中图仪器激光干涉尺分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
中图仪器PLR3000激光干涉尺是新一代高精度位置检测设备,基于激光干涉测量原理,支持单轴至多轴测量,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
PLR3000光纤激光干涉尺0.02ppm稳频精度光纤激光尺突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输,支持单轴至多轴测量,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
PLR3000精密激光干涉尺基于激光干涉测量原理,专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
PLR3000光纤激光干涉测量尺0.02ppm稳频精度光纤激光尺突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输,支持单轴至多轴测量,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
微信扫一扫