PLR3000系列多规格光纤激光尺可根据用户需求,配置单轴、双轴以及三轴输出,轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置,用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头,满足用户各种复杂场景应用。
PLR3000高分辨率光纤激光尺高分辨率数字正交信号输出,分辨率达10nm(可外部拓展)。基于激光干涉测量原理,专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输,支持单轴至多轴测量,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
PLR3000系列高稳定光纤激光尺是新一代高精度位置检测设备,基于激光干涉测量原理,专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输,支持单轴至多轴测量,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
PLR3000系列0.02ppm稳频精度光纤激光尺突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输,支持单轴至多轴测量,分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。
PLR3000系列可拓展4m量程光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,具有安装快捷,易于准直等特点。可根据用户需求,配置单轴、双轴以及三轴输出,轻松实现多轴测量或多自由度测量。
相比传统钢带尺或玻璃光栅,PLR3000系列高线性精度光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率,同时其热源隔离设计,保证了更高的稳定性,具有安装快捷,易于准直等特点。可根据用户需求,配置单轴、双轴以及三轴输出,轻松实现多轴测量或多自由度测量。
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