0.2ppm高精度光纤激光尺

中图仪器PLR3000系列0.2ppm高精度光纤激光尺是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，10nm分辨率+0.2ppm线性精度，满足纳米级测量需求，是特别为超高精度位置反馈应用而设计，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

一、产品功能

1. 纳米级信号输出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交数字/1Vpp正余弦信号双输出，适配各类控制器；

2. 全环境自适应：一体化环境气象站，实时补偿环境参数对测量的影响，数据长期可靠；

3. 灵活安装设计：激光主机与探头分离，3m铠装光纤连接，远离热源干扰，狭小空间也能便捷安装；

4. 多维度测量支持：单轴/双轴/三轴自由配置，搭配多种干涉探头，轻松实现多自由度测量；

5. 双重使用模式：既可作为激光干涉仪独立测量，也可接入系统实现闭环位置反馈控制；

二、

功能特点

1.高分辨率数字正交信号输出，分辨率达10nm（可外部拓展）。  

2.高测量精度，线性测量精度达0.2~0.5ppm。

3.高稳频精度，可达0.02~0.05ppm。

4.测量范围大，最大量程可达4m（可拓展）。

5.激光发射装置与干涉探头分离，通过3m铠装光纤与电缆连接，可将激光尺主机远离被测量设备，便于安装，同时还可避免主机散热对测量通路的影响。

6.输出正交数字信号或1Vpp正余弦信号，可以适用于不同的控制器。

7.体积小巧，适合狭小空间安装，可最大限度降低阿贝误差。 

8.即可作为激光干涉仪进行测量，也可用于闭环位置反馈控制。

9.多通道输出，可轻松实现多轴同时测量及多自由度测量。

10.环境补偿功能，一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。

三、产品应用

1.半导体制造：光刻机晶圆定位、精密工件台反馈控制。

2.航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准。

3.精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量。

4.科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制。

相比传统钢带尺或玻璃光栅，PLR3000系列0.2ppm高精度光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点，可根据用户需求，配置单轴、双轴以及三轴输出，轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置，用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头，满足用户各种复杂场景应用。

产品参数将根据技术迭代持续优化，故本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。