0.1nm级分辨率光学3D表面轮廓仪

中图仪器SuperViewW0.1nm级分辨率光学3D表面轮廓仪形貌重复性低至0.1nm，粗糙度RMS重复性0.005nm，台阶测量准确度仅0.3%，搭配气浮隔振底座与0.1nm分辨率环境噪声评价，复杂车间环境也能稳定输出精准数据。它能一站式解决超精密测量精度不足、多材质适配难、批量检测效率低等测量难题。应用覆盖半导体、3C电子等多行业场景，数据驱动检测，赋能精密制造升级。

一、产品功能

1.自动化测量：操纵杆便捷操控，Mark点自动定位校正，单/多区域一键扫描分析。

2.数据处理：去噪、滤波等四大模块+五大分析功能，支持定制化模板批量处理。

3.安全保障：双重镜头防撞+光源自动熄灯设计，设备损耗率降低40%。

4.灵活配置：10×干涉物镜（可选2.5×-100×），320×200mm载物台适配不同尺寸工件。

二、自研3D显微测量软件平台

Xtremevision Pro全自主开发的第二代显微3D测量软件平台，集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的功能模块，能够适配中图W系列、VT系列、WT系列所有3D仪器机型，可自主识别机型种类，二合一机型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。

Xtremevision Pro 移植了中图在影像闪测领域的成功经验，重构了显微影像测量功能，可针对微观平面轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。

1.自动化mark点识别坐标定位自动化功能

Mark点影像识别自动坐标位置校正，多区域坐标点自动定位测量与分析，可组合式完成粗糙度、轮廓尺寸的批量自动化测量。

2.自动拼接功能

支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量。

三、产品特点

1.全场景覆盖

单一扫描模式适配超光滑到粗糙、镜面到全透明/黑色材质，从纳米到微米级工件的粗糙度、平整度、微观轮廓等参数均可精准测量，无需更换设备即可满足多类产品检测需求。

2.高精度+大范围双突破

复合型EPSI重建算法解决传统技术瓶颈，自动拼接功能支持方形、圆形等多种模式，数千张图像无缝拼接，超光滑凹面弧形扫描也能实现无重叠缝隙重建。

3.高效自动化降本增效

一键完成单/多区域自动测量、批量分析，编程测量功能可预设流程实现一键操作，单个精细器件测量用时短，大幅提升检测 throughput。

四、应用领域

对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW0.1nm级分辨率光学3D表面轮廓仪以0.1nm级分辨率、8μm/s扫描速度、300+种标准参数，为精密制造、科研检测等领域提供高精度+高效率+高适配的3D表面测量解决方案。如需获取行业定制化方案、产品演示视频或免费样品测试，欢迎联系中图仪器。

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。