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激光干涉仪的应用介绍

更新时间:2023-04-04      点击次数:348
  激光干涉仪是利用激光的相干性原理来测量物体长度、形状、位移、表面形貌等参数的一种设备。它的原理基于两束不同频率的激光交叉干涉形成的干涉图案来测量目标物体的形态和位移。
 
  当两束激光束脱离相干性时,干涉图案将随时间变化,因此,通常采用各种技术来保持两束激光束相干性。比如,在单模激光中采取模式锁定技术,使得两束激光频率的差值恒定。这两束频率相差很小时,它们的束面之间的相干长度较小,因此,当一束激光束照射到物体表面时,其反射光与另一束激光束反射光形成干涉图案。
 
  激光干涉仪的应用:
 
  1. 长度、位移和形状测量
 
  可以测量目标物体的长度、位移和形状等物理量。例如,在制造业中,可以测量特定零件的大小和形状,以确保它们与设计规格相符。此外,还被应用于材料力学和结构工程中的位移测量,帮助工程师了解建筑物和其他结构的变形和稳定性。
 
  2. 表面形貌测量
 
  还可以用于表面形貌测量,比如,可以实现微米级精度的表面粗糙度测量。这种技术被广泛应用于半导体和光学器件生产领域,以确保产品达到所需的表面平整度和表面处理质量。
 
  3. 光学元件测试
 
  也被广泛应用于光学元件的测试,比如,它可以用于光学镜头的定位和旋转测量,以及光学元件的形状精度检测和表面质量测量。
 
  总之,激光干涉仪作为一种高精度的测量设备,被广泛应用于制造业、工程研究和科学实验等领域。其原理基于激光的相干性,可以实现目标物体的长度、位移、形状和表面形貌等物理量的测量。
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