SuperViewW1光学三维3D表面轮廓测量仪在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。其重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。
SuperViewW1光学白光干涉测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。可以对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
SuperViewW1光学三维轮廓仪检测仪器对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
SuperViewW1白光干涉检测仪设备载物台尺寸为320*200mm(可定制),行程为140*110mm(可定制);测量的Z向范围可达10mm(2.5X镜头),Z向的精度可高达0.1nm。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
SuperViewW1白光干涉光学测量仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。
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