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表面光学轮廓仪

简要描述:SuperViewW系列表面光学轮廓仪在微电子、微机械、微光学等领域,表面光学轮廓仪可以提供更高精度的检测需求。还可以用自动多区域测量功能,在样品表面抽取多个测量区域进行测量,从而对样品进行评估分析。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-04-28
  • 访  问  量:26

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

在微电子、微机械、微光学等领域,白光干涉仪可以提供更高精度的检测需求。但白光干涉仪由于镜头视野较小,要想测量物体整个区域的表面情况,只能用自动拼接测量功能,但耗时较多,这时候可以用自动多区域测量功能,在样品表面抽取多个测量区域进行测量,从而对样品进行评估分析。


中图仪器SuperViewW系列表面光学轮廓仪自动拼接功能的使用,即不管是在光滑还是粗糙、平面亦或是异形结构,当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时,都可以采用自动拼接,可根据不同表面特点进行重建算法的切换,无论何种形貌,都可生成3D全景。

700.jpg


测量方法很简单:

1.点击XY复位,使得SuperViewW系列表面光学轮廓仪的镜头复位到载物台中心

2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;5.设置好扫描方式和扫描范围;6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;9.根据被测物形状和尺寸,"形状"栏选择“椭圆平面",X和Y方向按需设置;10.点击弹出框右下角的“开始"图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。

自动拼接功能.jpg


深圳市中图仪器股份有限公司成立十多年来,一直坚持以技术创新为发展基础,历经了十多年的技术积累和发展实践,在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了设计、制造优势,具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。

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