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机床校准激光干涉仪

简要描述:中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪以干涉技术为核心,可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;也可以实现对机床回转轴的测量与校准。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-04-26
  • 访  问  量:191

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心,可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;也可以实现对机床回转轴的测量与校准。


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SJ6000机床校准激光干涉仪


SJ6000机床校准激光干涉仪可根据具体测量需求而选择不同的组件,具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。


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注意事项

对角线测量套装配置需求:对角线测量套装+可调转向镜

平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组

平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组

直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量


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产品参数

产品型号: SJ6800

产品名称: 激光干涉仪

稳频方式: 双频激光双纵模热稳频

稳频精度: 0.04ppm

测量距离:≤(0-80)m(无需远距离线性附件)

测量分辨力:1nm

测量至大速度:4m/s

线性测量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃

角度测量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)

主要特点:绝对测量、恒测力、无阿贝误差

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