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非接触3d光学轮廓仪器

简要描述:SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪器的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-06-29
  • 访  问  量:226

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪器是以光学技术为基础,结合精密机械制造、计算机技术、图像处理技术,对微观物体进行放大成像,以实现微细结构信息提取的光学仪器。主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。


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在半导体领域中,芯片封装测试流程中,晶圆减薄和晶圆切割工艺需要测量晶圆膜厚、粗糙度、平整度(翘曲),晶圆切割槽深、槽宽、崩边形貌等参数。SuperViewW1非接触3d光学轮廓仪器的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。


技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:100万~400万像素可选

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:行程140X100mm、200X200mm、300X300mm可选   尺寸 320X200mm、300X300mm、450X450mm可选

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100

水平调整:±2°、±5°、±6°可选

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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