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光学3D表面轮廓仪

简要描述:光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-08-09
  • 访  问  量:83

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

光学3D表面轮廓仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

 产品功能

1)系统光源及寿命:双LED光源(白光和绿光),10万小时超长寿命,终身无需更换;

2)测量模式:垂直扫描干涉模式(VSI),相移干涉模式(PSI),结合VSI和PSI的自适应通用测量模式(USI)

3)多区域自动分析:自动获取图案化形貌区域的三维信息(高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等),同时具有自动统计分析功能。提供软件截图;

4)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;

5)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;

6)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;

7)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;

8)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;

9)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

10)具备word、excel等数据报表导出功能。

光学3D表面轮廓仪

应用领域

  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差

超精密加工.光学透镜

精密加工.发动机叶片

精密加工.金字塔型金刚石磁头

标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度


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