光学3D表面轮廓仪

光学3D表面轮廓仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

 产品功能

1）系统光源及寿命：双LED光源（白光和绿光），10万小时超长寿命，终身无需更换；

2）测量模式：垂直扫描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），结合VSI和PSI的自适应通用测量模式（USI）

3）多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能。提供软件截图；

4）具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能；

5）具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能，粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别；

6）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能；

7）具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能；

8）具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能；

9）具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

10）具备word、excel等数据报表导出功能。

光学3D表面轮廓仪

应用领域

　　对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例：

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC
3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差
超精密加工.光学透镜	精密加工.发动机叶片
精密加工.金字塔型金刚石磁头	标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度