OP光学轮廓仪主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓，也能测量晶圆翘曲度，适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。也称为白光干涉仪 (WLI)，是一款以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。测量三维形貌的系统原理是在视场范围内从样品表面底部到顶部逐层扫描，获得数百幅干涉条纹图像，找到该过程中每一个像素点处于光强最大时的位置，完

除了用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，W1三维光学轮廓仪具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

中图仪器SuperViewW1光学表面3d轮廓测量仪器能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

​W1光学3d表面轮廓仪器能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，除主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

w1光学3D表面轮廓仪主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

3D光学表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效