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激光干涉仪检测设备

简要描述:SJ6000激光干涉仪检测设备可以检测线性、角度、直线度、垂直度等几何量,可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-11-11
  • 访  问  量:82

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制测量距离(0-80)m
测量精度0.5ppm(0-40)℃测量分辨力1nm
轴向量程(0-15)m测量范围±10°

SJ6000激光干涉仪检测设备采用进口高性能氦氖激光器、激光纵模热稳频技术、高速干涉信号采集、调理及细分技术以及纳米级的分辨率,集光、机、电、计算机等技术于一体,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,在制造领域应用广泛。


产品参数

SJ600产品参数.png


产品配置

镜组.png

(依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台)


产品特点

SJ6000激光干涉仪检测设备具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可以检测线性、角度、直线度、垂直度等几何参量的高精度测量,可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。


5003.jpg

测量机床垂直度


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测量机床定位精度


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WR50自动精密转台测量机床回转轴精度


在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。


注意事项

1)对角线测量套装配置需求:对角线测量套装+可调转向镜

2)平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组

3)平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可

4)短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组

5)长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组

6)直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量


配件与证书

配件与证书.png


SJ6000激光干涉仪以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级,SJ6000激光干涉仪可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。内置各种类国标(GB)、ISO()、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据,并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。


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