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SJ6000自制激光干涉仪

简要描述:中图仪器SJ6000自制激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-01-07
  • 访  问  量:563

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器SJ6000自制激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰的能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。


功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

(6)支持手动或自动进行环境补偿。


SJ6000自制激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、垂直度、角度、直线度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。


全套系统.png


在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行加速度、位移、速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。


转台应用1.jpg

转台应用


轻型线性镜组附件应用实例.jpg

轻型线性镜组附件应用


可调转向镜应用实例斜床的倾斜轴测量.jpg

可调转向镜应用:斜床的倾斜轴测量



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