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激光干涉仪器设备

简要描述:中图仪器激光干涉仪器设备采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高,扛扰力强,降低了对环境条件的要求,空气湍流、热波动等影响甚微,因此使它不仅能用于实验室,还可在车间条件下测量大距离用。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-10
  • 访  问  量:20

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

中图仪器激光干涉仪器设备采用双频氦氖激光器作为光源。其精度高,扛扰力强,降低了对环境条件的要求,空气湍流、热波动等影响甚微,因此使它不仅能用于实验室,还可在车间条件下测量大距离用。


系统组件

1、激光主机

精准——激光频率稳定度高,可溯源至国家标准。

SJ6800激光主机由DC12V电源适配器供电,输入电压范围在100V-240V之间皆可正常工作。

支持USB通信接口,可与计算机高速通信,兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配备的SCSI接口,可提供外部触发信号输入和正交信号输出,以及其它扩展应用。


2、EC20环境补偿单元

可靠——对空气温度、湿度、气压和材料温度进行自动环境补偿。

激光干涉仪是以激光波长为载体,测量过程中环境条件(空气温度、湿度、气压)的变化会影响激光波长。

EC20环境补偿单元可实时检测环境条件的变化,同事进行激光波长补偿。

EC20环境补偿单元可连接三个材料温度探头,监测被测对象其材料的温度变化,同事进行材料的热膨胀补偿。

EC20环境补偿单元采用低功耗设计,无需额外的供电电源,其工作电源集成于USB接口。

为了方便现场使用,EC20环境补偿单元配备磁性挂板,温度探头的标准线长5m,亦可定制线长。


3、三脚架及便携箱

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中图仪器激光干涉仪器设备具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。测量分辨率0.01″,系统测量精度为±1″,基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。


部分技术指标

线性测量

测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量精度:0.5ppm (0~40)℃

测量分辨力:1nm

测量最大速度:4m/s


角度测量

轴向量程:(0~15)m

测量范围:±10°

测量精度:±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R为显示值,单位:″;M为测量距离,单位:m)

测量分辨力:0.1″


平面度测量

轴向量程:(0~15)m

测量范围:±1.5mm

测量精度:±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)

基板尺寸:180mm可调,360mm可调

测量分辨力:0.1μm

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