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三维轮廓测量仪器

简要描述:SuperViewW1三维轮廓测量仪器以白光干涉技术为原理,采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-20
  • 访  问  量:266

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

SuperViewW1三维轮廓测量仪器以白光干涉技术为原理,采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。


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技术指标

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

 

测量方法

1. 点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心

2. 将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;

3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;

4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;

5.设置好扫描方式和扫描范围;

6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;

7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;

8.根据被测物形状和尺寸,"形状"栏选择“椭圆平面",X和Y方向按需设置;

9.点击弹出框右下角的“开始"图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。


新建项目 (1).jpg


SuperViewW1三维轮廓测量仪器应用

在军事领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度;

在集成电路行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在3C领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

在EMES行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度;

在光纤通信行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

在LED行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度。

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