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白光干涉测量仪

简要描述:SuperViewW1白光干涉测量仪在镜头的上方安装有机械防撞传感器,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-19
  • 访  问  量:106

详细介绍

品牌中图仪器产地国产
加工定制

白光干涉仪可以对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、面形轮廓、腐蚀情况、波纹度、平面度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、磨损情况、表面缺陷、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


中图仪器SuperViewW1白光干涉测量仪在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品。


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大多数的场景中,只需检测一个数十、数百微米的区域,但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中,SuperViewW1白光干涉测量仪的自动拼接功能,能够快速实现大区域、高精度的测量,还支持自动聚焦功能,只需将Z向调到贴近样品表面(小于镜头工作距离),选择好聚焦范围,即可自动聚焦到样品清晰成像表面并获取干涉条纹。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。


技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


特点

一是非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;

二是测量速度快,不必像探头逐点进行测量;

三是不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;

四是对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。

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